danДоклады Национальной академии наук БеларусиDoklady of the National Academy of Sciences of Belarus1561-83232524-2431The Republican Unitary Enterprise Publishing House "Belaruskaya Navuka"dan-265Research ArticleФИЗИКАPHYSICSКОНТРОЛИРУЕМОЕ НАНЕСЕНИЕ Ti-Al-N ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯFORMATION OF Ti-Al-N COATINGS BY CONTROLLED REACTIVE MAGNETRON SPUTTERINGКОМАРОВФ. Ф.KOMAROVF. F.

член-корреспондент

КЛИМОВИЧИ. М.KLIMOVICHI. M.imklimovich@gmail.comЗАЙКОВВ. А.ZAIKOVV. A.ПИЛЬКОВ. В.PILKOV. V.Белорусский государственный университет, МинскBelarus2014100620165854043Copyright © КОМАРОВ Ф.Ф., КЛИМОВИЧ И.М., ЗАЙКОВ В.А., ПИЛЬКО В.В., 20162016КОМАРОВ Ф.Ф., КЛИМОВИЧ И.М., ЗАЙКОВ В.А., ПИЛЬКО В.В.KOMAROV F.F., KLIMOVICH I.M., ZAIKOV V.A., PILKO V.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.belnauka.by/jour/article/view/265

Изучено влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. Методом резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии установлено значительное влияние условий осаждения на элементный состав и структуру покрытий. Доказано, что на них значительно влияют условия осаждения. Установлено, что наилучшими механическими свойствами обладают покрытия с глобулярной структурой стехиометрического состава.

Ti-Al-N films were synthesized by a reactive magnetron sputtering to investigate the effects of sputtering conditions on the microstructure and mechanical properties. The deposited coatings were characterised by RBS (Rutherford backscattering spectroscopy), scanning electron microscopy and microindentation. Results show that deposition parameters have a large influence on the hardness of deposited coatings and their microstructure. It was revealed that the high hardness and low friction coefficient are corresponded to films with globular microstructure.

ReferencesКомаров Ф. Ф., Константинов С. В., Пилько В. В. // Трение и износ. 2014. № 3. С. 293–303.Комаров Ф. Ф., Константинов С. В., Пилько В. В. // Трение и износ. 2014. № 3. С. 293–303.Cavaleiro A., De Hosson J. Т. // Nanostructured Coatings. Berlin: Springer-Verlag, 2006.Cavaleiro A., De Hosson J. Т. // Nanostructured Coatings. Berlin: Springer-Verlag, 2006.Погребняк А. Д., Шпак А. П., Азаренков Н. А., Береснев В. М. // Успехи физ. наук. 2009. T. 179, № 1. С. 35–64.Погребняк А. Д., Шпак А. П., Азаренков Н. А., Береснев В. М. // Успехи физ. наук. 2009. T. 179, № 1. С. 35–64.Белоус В. А., Васильев В. В., Лучанинов А. А.и др. // ФИП. 2009. Т. 7, № 3. С. 216–222.Белоус В. А., Васильев В. В., Лучанинов А. А.и др. // ФИП. 2009. Т. 7, № 3. С. 216–222.Бурмаков А. П., Зайков В. А., Лабуда А. А., Черный В. Е. // Журн. прикладной спектроскопии. 1996. Т. 63, № 6. С. 1049−1053.Бурмаков А. П., Зайков В. А., Лабуда А. А., Черный В. Е. // Журн. прикладной спектроскопии. 1996. Т. 63, № 6. С. 1049−1053.Бизюков А. А., Кашаба А. Е., Середа К. Н. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. С. 69–73.Бизюков А. А., Кашаба А. Е., Середа К. Н. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. С. 69–73.Мусил И. // Физические и механические свойства твердых нанокомпозитных пленок, получаемых реактивным магнетронным напылением. Наноструктурные покрытия. М., 2011.Мусил И. // Физические и механические свойства твердых нанокомпозитных пленок, получаемых реактивным магнетронным напылением. Наноструктурные покрытия. М., 2011.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.