Мишени SiO₂ : CuO (Cu°) для нанесения тонких пленок ионнолучевым распылением, полученные золь-гель методом

Проведены исследования особенностей структурообразования композиционных неорганических материалов, формируемых на основе диоксида кремния, а именно – пирогенного кремнезема марки А-380 (техническое название – аэросил). Изучена возможность улучшения однородности распределения вводимых веществдопантов по поверхности SiO₂-глобул, образующих каркас ксерогеля. Указанная цель достигалась за счет однородности распределения легирующих солей (на примере нитрата меди) еще на стадии формирования золя, который переводился в состояние ксерогеля в результате последовательной термообработки в контролируемой газовой среде (на воздухе или осушенном водороде). Полученные материалы затем размалывали до состояния высокодисперсных микропорошков. Из порошков формовали мишени в виде таблеток требуемого размера методом одноосного прессования. Конечная форма образцов представляла собой или микропорошки, или таблетированные заготовки, полученные на их основе – диаметром порядка 12,5; 2,50; 30; 40 и 80 мм и фазового состава SiO₂:CuO и SiO₂:Cu°.

1. Вольпян, О. Д. Магнетронное нанесение оптических покрытий при питании магнетронов переменным напряжением средней частоты / О. Д. Вольпян, А. И. Кузьмичев // Прикладная физика. – 2008. – № 3. – С. 34–52.

2. Investigation of sol-gel processed CuO/SiO2 nanocomposite as a potential photoanode material / T. Tenkyong [et al.] // Materials Science-Poland. – 2015. – Vol. 33, N 4. – P. 826–834. https://doi.org/10.1515/msp-2015-0097

3. Порозова, С. Е. Получение наночастиц и наноматериалов: учеб. пособие / С. Е. Порозова, В. Б. Кульметьева. – Пермь, 2010. – 135 с.

4. Подденежный, Е. Н. Золь-гель синтез оптического кварцевого стекла / Е. Н. Подденежный, А. А. Бойко. – Гомель, 2002. – 210 с.

5. Арбенин, А. Ю. Синтез наночастиц железа в порах мезопристого кремнезема SBA-15 и анализ химического состава / А. Ю. Арбенин, Е. Г. Земцова, В. М. Смирнов // Вестн. СпбГУ: Физика и химия. – 2012. – Вып. 4. – С. 136–138.

6. Вилья, Н. Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления / Н. Вилья, Д. А. Голосов, Т. Д. Нгуен // Доклады БГУИР. – 2019. – № 5(123). – С. 87–93. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-1235-87-93

7. Андрусишина, И. Н. Наночастицы металлов: способы получения, физико-химические свойства, методы исследования токсикологичности / И. Н. Андрусишина // Современные проблемы токсикологии. – 2011. – № 3. – С. 5–14.

8. Оленин, А. Ю. Химическое модифицирование поверхности наночастиц серебра. Получение частиц-янусов / А. Ю. Оленин, Т. Р. Низамов, Г. В. Лисичкин // Рос. нанотехнологии. – 2014. – Т. 9, № 9–10. – С. 19–24.

9. Porous glasses with silver nanoparticles as the sensitive material for sensors to measure the index of refraction of analytes / A. S. Pshenova [et al.] // Journal of Optical Technology. – 2016. – Vol. 83, N 7. – P. 438–440. https://doi.org/10.1364/jot.83.000438

10. Аль-Камали, М. Ф. С. Х. Структурообразование SiO2-ксерогелей, содержащих соединения меди различного фазового состава / М. Ф. С. Х. Аль-Камали, А. А. Алексеенко, О. А. Титенков // Проблемы физики, математики и техники. – 2020. – № 3(44). – C. 7–12.

11. Алексеенко, А. А. Синтез и свойства ксерогелей состава SiO2 : Cu°, предназначенных для применения в биомедицинских исследованиях / А. А. Алексеенко, М. Ф. С. Х. Аль-Камали, О. А. Титенков // Вестн. ГГТУ им. П. О. Сухого. – 2020. – № 3–4. – C. 40–47.

12. Preparation of Cu-SiO2 composite aerogel by ambient drying and the influence of synthesizing conditions on the structure of the aerogel / G. A. Li [et al.] // Chinese Science Bulletin. – 2011. – Vol. 56, N 7. – P. 685–690. https://doi.org/10.1007/s11434-011-4413-3

13. Theivasanthi, T. X-Ray Diffraction Studies of Copper Nanopowder / T. Theivasanthi, M. Alagar // Scholars Research Library, Archives of Physics Research. – 2010. – Vol. 1, N 2. – P. 112–117.

14. Малявский, Н. И. Золь-гель синтез ортосиликатов / Н. И. Малявский, Б. В. Покидько // Вестн. МГСУ. – 2012. – № 8. – С. 131–138.

15. Tohidi, S. H. Comparision nanostructure behavior of copper species on the silica matrix xerogels / S. H. Tohidi // IJE Transactions B: Applications. – 2011. – Vol. 24, N 2. – P. 147–153.