Получение наночастиц карбида кремния распылительным пиролизом из фемтолитровых капель хлортриметилсилана
https://doi.org/10.29235/1561-8323-2020-64-1-111-115
Аннотация
Впервые получены наночастицы карбида кремния при распылительном пиролизе микрокапель хлортриметилсилана в потоке аргона. Показано, что при увеличении температуры стенок реактора до 1100 °С степень чистоты образца из наночастиц увеличивается, при этом их средний размер составляет 6-40 нм.
Об авторах
В. И. СаверченкоРоссия
Саверченко Виктор Иванович - кандидат физико-математических наук, научный сотрудник.
Ул. П. Бровки, 15, 220072, Минск
Ю. А. Ходыко
Россия
Ходыко Юлия Андреевна - кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник.
Ул. П. Бровки, 15, 220072, Минск
Н. Н. Черенда
Россия
Черенда Николай Николаевич - кандидат физико-математических наук, доцент.
Пр. Независимости, 4, 220030, Минск
Список литературы
1. Применение техногенных отходов металлургических предприятий для производства карбида кремния / О. А. Полях [и др.] // Изв. высших учебных заведений. Черная металлургия. - 2014. - Т. 57, № 8. - С. 5-12.
2. Фотоэлектрические характеристики структур карбид кремния-кремний, выращенных методом замещения атомов в кристаллической решетке кремния / А. С. Гращенко [и др.] // Физика и техника полупроводников. - 2017. -Т. 51, вып. 5. - С. 651-658.
3. Высокотеплопроводная карбидокремниевая керамика для крупногабаритной космической оптики / П. С. Гринчук [и др.] // Докл. Нац. акад. наук Беларуси. - 2019. - Т. 63, № 2. - С. 223-234. https://doi.org/10.29235/1561-8323-2020-63-2-223-234
4. Najafi, A. Improvement of SiC nanopowder synthesis by solgel method via TEOS/resin phenolic precursors / A. Na-jafi, F. Golestani-Fard, H. R. Rezaie // J. of Sol-Gel Science and Technology. - 2015. - Vol. 75, N 2. - P. 255-263. https://doi. org/10.1007/s10971-015-3695-3
5. Плазмохимический синтез нанодисперсного карбида кремния / В. И. Торбов [и др.] // Альтернативная энергетика и экология. - 2008. - № 9. - С. 93-98.
6. Синтез карбида кремния в электротермическом реакторе с кипящим слоем углеродных частиц / В. А. Бородуля [и др.] // Горение и плазмохимия. - 2015. - Т. 13, № 2. - С. 92-102.
7. Wang, W. N. Preparation of nanoparticles by spray routes / W. N. Wang, W. Lenggoro, K. Okuyama // Encyclopedia Nanoscience and Nanothechnology / ed. H. S. Nalwa. - American Scientific Publ., 2011. - Р. 435-458.
8. Nanoparticles formation via low pressure spray pyrolysis - physical fundamentals and puzzle / S. P. Fisenko [et al.] // Advances in nanotechnology / eds. Z. Bartul, J. Trenor. - New York, 2015. - Vol. 14. - P. 163-184.
9. Fisenko, S. P. Thermophoresis and brownian diffusion of nanoparticles in a nonisothermal gas flow / S. P. Fisenko, Yu. A. Khodyko // Brownian motion: theory, modelling and applications / eds. R. C. Earnshaw, E. M. Riley. - Nova Science Publ., 2011. - Ch. 10.