НЕОРГАНИЧЕСКИЕ ФОТОРЕЗИСТЫ НА ОСНОВЕ СМЕШАННЫХ ОКСИДОВ МОЛИБДЕНА И ВАНАДИЯ
Аннотация
Продемонстрирована возможность использования тонких пленок смешанного молибден-ванадиевого оксида в качестве неорганического фоторезистного материала для получения высокоустойчивых рисунков-масок. В основе фоточувствительности систем такого рода лежит фотоиндуцированная поликонденсация олигомеров смешанных полиоксокислот в пленках ксерогеля V2O5 : MoO3.
Об авторах
А. А. БАРАБОШИНА
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
Т. В. СВИРИДОВА
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
Л. С. ЦЫБУЛЬСКАЯ
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
А. И. КОКОРИН
Институт химической физики им. Н. Н. Семёнова Российской академии наук, Москва
Россия
Россия
Д. В. СВИРИДОВ
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
член-корреспондент
Беларусь
член-корреспондент
Список литературы
1. Liu, B. Sub-100 nm nanolithography and pattern transfer on sol-gel-derived TiO2 resist / B. Liu, S.-T. Ho // J. Electrochem. Soc. – 2008. – Vol. 155. – P. P57–P60.
2. Лазерно-стимулированная модификация свойств оксидов переходных металлов / А. М. Ильин [и др.] // Оптика и спектроскопия. – 1997. – Т. 82. – С. 32–38.
3. Chudnovskii, F. A. Metal-insulator phase transition in disordered VO2 / F. A. Chudnovskii, G. B. Stefanovich // J. Solid State Chem. – 1992. – Vol. 98. – P. 137–145.
4. van Zant, P. Microchip fabrication / P. van Zant. – NY, 1997.
5. Sviridova, T. V. Nano- and microcrystals of molybdenum trioxide and metal-matrix composites on their basis / T. V. Sviridova, L. I. Stepanova, D. V. Sviridov // Molybdenum: Characteristics, Production and Applications / ed. by M. Ortiz [et al.]. – NY, 2012. – P. 147–179.
6. Livage, J. Sol-gel chemistry of transition metal oxides / J. Livage, M. Henry, C. Sanchez // Progr. Solid State Chem. – 1988. – Vol. 18. – P. 259–341.
7. Авдеев, В. И. Моделирование активных центров нанесенных катализаторов V2O5/SiO2 и V2O5/TiO2. Теоретический анализ оптических свойств методом DFT / В. И. Авдеев, Г. М. Жидомиров // Журн. структурной химии. – 2005. – Т. 46. – С. 599–612.
Рецензия
Просмотров: 757
Послать статью по эл. почте 