КОНТРОЛИРУЕМОЕ НАНЕСЕНИЕ Ti-Al-N ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Аннотация
Изучено влияние режимов нанесения покрытий Ti-Al-N, полученных методом реактивного магнетронного распыления, на их состав, структуру и механические свойства. Методом резерфордовского обратного рассеяния, растровой электронной микроскопии установлено значительное влияние условий осаждения на элементный состав и структуру покрытий. Доказано, что на них значительно влияют условия осаждения. Установлено, что наилучшими механическими свойствами обладают покрытия с глобулярной структурой стехиометрического состава.
Об авторах
Ф. Ф. КОМАРОВ
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
член-корреспондент
Беларусь
член-корреспондент
И. М. КЛИМОВИЧ
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
В. А. ЗАЙКОВ
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
В. В. ПИЛЬКО
Белорусский государственный университет, Минск
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Комаров Ф. Ф., Константинов С. В., Пилько В. В. // Трение и износ. 2014. № 3. С. 293–303.
2. Cavaleiro A., De Hosson J. Т. // Nanostructured Coatings. Berlin: Springer-Verlag, 2006.
3. Погребняк А. Д., Шпак А. П., Азаренков Н. А., Береснев В. М. // Успехи физ. наук. 2009. T. 179, № 1. С. 35–64.
4. Белоус В. А., Васильев В. В., Лучанинов А. А.и др. // ФИП. 2009. Т. 7, № 3. С. 216–222.
5. Бурмаков А. П., Зайков В. А., Лабуда А. А., Черный В. Е. // Журн. прикладной спектроскопии. 1996. Т. 63, № 6. С. 1049−1053.
6. Бизюков А. А., Кашаба А. Е., Середа К. Н. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. С. 69–73.
7. Мусил И. // Физические и механические свойства твердых нанокомпозитных пленок, получаемых реактивным магнетронным напылением. Наноструктурные покрытия. М., 2011.
Рецензия
Просмотров: 701
Послать статью по эл. почте 