ЛОКАЛЬНЫЕ КОЛЕБАТЕЛЬНЫЕ МОДЫ КОМПЛЕКСА ДИВАКАНСИЯ–ДВА АТОМА КИСЛОРОДА В КРЕМНИИ
Анатацыя
Методом низкотемпературной ИК фурье-спектроскопии исследованы процессы образования и отжига вакансионно-кислородных комплексов Vn Om в облученных быстрыми электронами кристаллах кремния, полученных методом Чохральского. Приведен ряд аргументов, позволяющих утверждать, что полоса поглощения у 829,3 см–1 является локальной колебательной модой комплекса дивакансия–два атома кислорода V2 O2 .
Аб аўтарах
Е. Толкачева
НПЦ НАН Беларуси по материаловедению
Беларусь
Беларусь
Л. Мурин
НПЦ НАН Беларуси по материаловедению
Беларусь
Беларусь
Ф. Коршунов
НПЦ НАН Беларуси по материаловедению
Беларусь
Беларусь
Спіс літаратуры
1. Бабич, B. М. Кислород в монокристаллах кремния / B. М. Бабич, Н. И. Блецкан, Е. Ф. Венгер. – Киев: Интерпрес ЛТД, 1997. – 240 с.
2. Oxygen defect processes in silicon and silicon germanium / A. Chroneos [et al.] // Appl. Phys. Rev. – 2015. – Vol. 2. – P. 021306(1–16).
3. Defect engineering in Czochralski silicon by electron irradiation at different temperatures / J. L. Lindström [et al.] // Nuclear Inst. and Methods in Physics Research B. – 2002. – Vol. 186. – P. 121–125.
4. Коршунов, Ф. П. Радиационная технология изготовления мощных полупроводниковых приборов / Ф. П. Коршунов, Ю. В. Богатырев // Весці НАН Беларусі. Сер. фіз.-тэхн. навук. – 2008. – № 4. – С. 106–114.
5. Thermal double donor annihilation and oxygen precipitation at around 650 °C in Czochralski-grown Si: local vibrational mode studies / L. I. Murin [et al.] // J. Phys.: Condensed Matter. – 2005. – Vol. 17, N 22. – P. S2237–S2246.
6. Pajot, B. Optical absorption of impurities and defects in semiconducting crystal: Electronic absorption of deep centres and vibrational spectra / B. Pajot, B. Clerjaud. – Berlin; Heidelberg: Springer, 2013. – 463 p.
7. Local vibrational modes of the oxygen trimer in Si / L. I. Murin [et al.] // Physica Status Solidi (c). – 2011. – Vol. 8, N 3. – P. 709–712.
8. VO<sub>n</sub> (n ≥ 3) defects in irradiated and heat-treated silicon / L. I. Murin [et al.] // Solid State Phenomena. – 2005. – Vol. 108–109. – P. 267–272.
9. Divacancy-oxygen and trivacancy-oxygen complexes in silicon: Local Vibrational Mode studies / L. I. Murin [et al.] // Solid State Phenomena. – 2010. – Vol. 156–158. – P. 129–134.
10. Толкачева, Е. А. Исследование вакансионно-кислородных комплексов в облученных быстрыми электронами и нейтронами кристаллах кремния методом ИК поглощения / Е. А. Толкачева, Л. И. Мурин // Весці НАН Беларусі. Сер. фіз.-мат. навук. – 2014. – № 2. – С. 101–104.
11. Lee, Y.-H. EPR studies of defects in electron-irradiated silicon: A triplet state of vacancy-oxygen complexes / Y.-H. Lee, J. W. Corbett // Phys. Rev. B. – 1976. – Vol. 13, N 6. – P. 2653–2666.
12. Lee, Y.-H. Oxygen-vibrational bands in irradiated silicon / Y.-H. Lee, G. C. Corelli, J. W. Corbett // Physics Letters. – 1977. – Vol. 60A, N 2. – P. 55–57.
13. Ramdas, A. K. Infrared absorption spectra of oxygen-defect complexes in irradiated silicon / A. K. Ramdas, M. G. Rao // Phys. Rev. – 1966. – Vol. 142, N 2. – P. 451–456.
14. Толкачева, Е. А. Влияние изотопного состава природного кремния на локальные колебательные моды вакансионно-кислородных комплексов / Е. А. Толкачева, Л. И. Мурин // ЖПС. – 2013. – Т. 80, № 4. – С. 582–586.
15. Annealing of the divacancy-oxygen and vacancy-oxygen complexes in silicon / M. Mikelsen [et al.] // Phys. Rev. B. – 2007. – Vol. 13, N 15. – P. 155202 (1–8).
##reviewer.review.form##
Праглядаў: 764
Паслаць артыкул па эл. пошце 